导读： 目前，中科院力学所承担了激光干涉测距系统方法学筛选和地面模拟系统的研制，并于近期取得进展。科研人员突破国际技术封锁和关键器件禁运，成功设计出集消除噪声与精密测距等多功能的激光干涉仪光路。

　　OFweek激光网讯：目前，中科院力学所承担了激光干涉测距系统方法学筛选和地面模拟系统的研制，并于近期取得进展。科研人员突破国际技术封锁和关键器件禁运，成功设计出集消除噪声与精密测距等多功能的激光干涉仪光路。

　　激光干涉仪光路

　　空间引力波探测和地球重力场空间测量两大科学计划具有重大科学意义和广泛的应用价值。空间引力波探测不仅可以检验爱因斯坦广义相对论，还可开启一个观测宇宙早期的新窗口;而先进重力场测量将为人们研究陆地水循环、冰川变化、海洋环流及大气循环等地球大质量时空分布、变化与迁移现象提供有效的分析依据。

激光干涉仪光路

　　这两大科学计划的核心技术即是激光干涉测距系统，用以获得由空间引力波扰动或重力场异常所引起的星间距变化。空间引力波探测要求在百万公里量级的卫星间，获得皮米量级的位移测量精度;而对于地球重力场空间测量，也要在百公里量级的卫星间获得纳米级的测距精度。

　　单频激光干涉仪从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

　　双频激光干涉仪在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。

　　测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算(乘1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。

转载自http://laser.ofweek.com/2014-09/ART-240015-8120-28880789.html