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化学束外延
高真空-化学气相沉积系统(HV-CVD)
(激光/电子束) 辅助化学束外延系统MOMBE/GSMBE
化学束外延——大面积、均匀薄膜、成分梯度及化学梯度薄膜、多元及掺杂
(激光/EUV/X-Ray/电子/离子)束辅助化学束外延系统 - GMMBE/MOMBE
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