我公司11月主要活动如下：
清华大学：交付“超高真空磁控溅射及电子束蒸镀集成镀膜系统，用于制备超导量子器件，例如：超导约瑟夫森结 Al, Nb, NbN.
UHV四腔体构造：LOADLOCK+UHV处理室+UHV电子束蒸镀室+UHV磁控溅射室，主要腔体真空度可达10^-10mbar
今年7月份，我们还交付了清华大学一台两腔体高真空电子束蒸发镀膜设备，用于制备约瑟夫森结/qubit。
某某大学：交付“微波等离子体化学气相沉积系统”，用于制备高纯度单晶金刚石、多晶厚膜，用于NV色心研究，光学窗口等。
1. 高真空系统：采用爱德华兹干泵（无油）+分子泵，最佳真空度优于3×10-7mbar.
2. 散热性能好：采用铝合金谐振腔(外腔体)，设备可以在满功率或接近满功率长时间工作。
3. 工艺气压高：设备支持高功率密度微波等离子体，工艺气压可达350mbar。
4. 耦合效率高：即使在满功率条件下，微波反射功率也可以调节为0或接近0。
5. 微波泄露为“0”：采用欧洲主流检测仪器，检测不到任何微波泄露。
6. 等离子球“对心”好：等离子体球正正好好处于腔体的中心。
7. 腔体尺寸大：等离子体远离石英腔壁可以避免刻蚀腔壁而造成的污染.
8. 气体注入设计：gas shower从顶部注入，针对生长单晶及多晶可以灵活调整气体流速。
9. 一次性生长厚单晶：可以一次性生长后单晶(例如2mm)。
10. 设备使用及维护方便：支持全自动、半自动和手动模式；支持远程维护和诊断。
11. 可以生长超高纯度单晶，杂质含量低于1ppb；可以进行金刚石掺杂研究，例如掺B, N, P等研究；
可以生长大面积光学级多晶膜；可以进行多种子批量化沉积。
12. 全套解决方案：如果用户需要，我公司可以提供金刚石生长、加工及检测所用到的全套设备及材料，
包括：HPHT高品质单晶种子， 甲烷和氢气净化器，金刚石抛光机，金刚石切工及净度评定机等。
提供金刚石专用切割机（激光切割机：可切割直径100x2mm多晶，可切割尺寸40mm单晶）
代理新产品：MBE, GSMBE, MOMBE，纳米粒子（2-10nm）、激光干涉仪、光纤干涉仪、
高精密激光微加工设备（切口宽度可达20μm，微孔直径20μm）。
