我们提供MPCVD (Microwave plasma-assisited Chemical Vapor Depositon)系统,用于高纯度单晶沉积及掺杂研究(high purity single crystal diamond and doping)/大面积光学级厚膜沉积(larger area optical grade polycrystalline diamond)/大面积超纳米晶沉积(large area UNCD)以及类金刚石(DLC)/碳纳米管(CNT)的沉积。
生长单晶特点(for single crystal diamond):纯度高(无色透明,N浓度为ppb)、速率快(50μm/h)、多种子沉积(可一次性沉积数十片10x10金刚石单晶);购买设备附带单晶生长工艺培训,并且把单晶现场生长作为交付验收条件.
生长多晶特点(for polycrystalline diamond):光学级高纯度(无色透明colourless)、生长速率快>5μm/h、大面积(3-4, 6-8,8-12英寸可选配);
我们也提供HFCVD(Hot filament CVD)设备,用于沉积3D diamond coating / diamond dome 或 freestanding thin / thick diamond film沉积,有效沉积面积可达0.5个平方米(as large as 0.5m2 coatings)。
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