纳米晶金刚石（NCD）相比Si, SiC等其他材料具有很多优势（超润滑、低摩擦、高硬度、超高导热能力、长寿命等）。目前可以用在生物传感器, BioMEMS, RF MEMS, 三维微结构/探针（AFM probe），电化学传感器/电极, 纳米压印技术，疏水或亲水表面，金刚石膜层等，具体如下：

——光学透明：耐磨光学薄膜/金刚石窗口；

——超高热导率：散热片、热管理；

——低摩擦、超耐磨：机械密封、轴承

——耐腐蚀：电化学电极 /食物 & 药物加工处理；

——镜面光滑表面：低摩擦膜层, MEMS, AFM Probes, RF electronics.

——生物相容性: Orthopedic implants，Implantable biosensors。

——场发射/冷阴极发射：冷阴极器件，场发射器阵列.

——低摩擦, Minimal wafer bow, 低应力：批量化生产MEMS，其他晶圆产品.

——电导: AFM probes，电化学传感器/电极，电子器件 (高功率、高温).

目前能够合成直径200-300mm、均匀性良好的NCD，若有兴趣，欢迎联系我们，我们将为您提供详细的资料和最适合的配置！

我们也提供超高真空sputtering和evaporation镀膜设备、PECVD、HFCVD、Ion milling、以及等离子处理设备等.