关键词：单层膜、多层膜、磁性膜、光学膜、金属膜、绝缘膜、半导体膜

                连续沉积、进口磁控溅射、SiO2、ZrO2、TiO2、DC靶、RF靶

型号：MP 900S    产地：欧洲      应用：单层膜、多层膜、磁性膜

• 配置多个可更换金属靶：Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, TaN

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• 衬底双行星运动，最大可加载4英寸衬底

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• LOAD LOCK及主腔体均配备分子泵和干泵

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• 可沉积多层膜，可原位应力检测

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• 应用于X-射线等领域.

• 6个高度可调阴极磁控管

• 3个1.5kW直流靶，3个1kW射频靶

• 氩气、氧气、氮气气路，分别配备MFC

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• 全自动电脑控制，半自动和手动模式可用，支持远程维护

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