型号：MEB450S， 产地：欧洲， 应用：沉积金属薄膜
蒸镀腔体：高600mm、宽450mm、深450mm
热蒸镀源：6个热蒸镀源
样品台： 可加载4×60mm衬底
衬底旋转：10 rpm
衬底加热：热阻丝加热可达300℃
采用热电偶控温
厚度控制：采用 石英晶振膜厚控制仪
衬底清洗及刻蚀：
配备直流离子枪
Ar、N2气路用于反应离子束刻蚀
刻蚀不均匀性±4% @ 60mm晶圆
离子枪到衬底距离为300mm
控制系统：全自动控制，半自动和手动模式可用
支持多级用户权限设置和管理
支持设备远程操作、监控、诊断和维护
系统自动报警及定位故障
若对我们的设备感兴趣，欢迎联系我们！
