关键词：磁控溅射、电子束蒸镀、超高真空、金属膜、氧化膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、

                多腔体、Qubit、UHV、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputtering system

                Evaporation system、Nb-based superconductor、超导铝结、Josephson junction

型号：MEB 550S2      产地：欧洲；    应用：沉积Al、Ti、Ni、Au、W、Ag

磁控溅射和电子束蒸发镀膜一体机是纳米器件制备中必不可少的仪器，用于制备各种高纯金属薄膜和氧化物薄膜。开展量子计算机实验研究，如基于金刚石NV色心，离子阱，超导量子结，量子点电子自旋的研究，均需要蒸镀/溅镀各种高质量金属薄膜来制备量子器件。

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